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auf 2024/05/17

Sumitomo Heavy Industries wird in Japan sic Ionimplantationsmaschinen auf den Markt bringen

Laut ausländischen Medienberichten wird die Tochtergesellschaft der Sumitomo Heavy Industries, Sumitomo Ion Technology, Ion -Implantationsmaschinen für Siliciumcarbid (SIC) -Pranchektor -Halbleiter auf dem Markt bereits 2025 auf den Markt bringen.

Der größte Teil der im SIC-Prozess verwendeten Geräte entspricht traditionelle Siliziumproduktionslinien, aber aufgrund der hohen Härte von SIC sind spezielle Produktionsausrüstung erforderlich, wie z.-Temperaturglühöfen usw. Unter ihnen ist das Vorhandensein von Hochtemperatur-Ionenimplantationsmaschinen ein wichtiges Kriterium für die Messung von SIC-Produktionslinien.


Nach dem Bericht injiziert Ionenimplantationsgeräte Unreinheiten wie Phosphor und Bor in den Wafer, um seine elektrischen Eigenschaften zu ändern.Für Siliziumwafer wird nach der Ionenimplantation eine Wärmebehandlung durchgeführt, um die Kristallinität wiederherzustellen.Für SIC ist es jedoch schwierig, die Kristallinität ausschließlich durch Wärmebehandlung nach Ionenimplantation wiederherzustellen.Die übliche Methode besteht darin, den SIC -Chip auf etwa 500 Grad Celsius zu erhitzen und dann Ionenimplantation und Wärmebehandlung durchzuführen.Aufgrund seines komplexen Betriebsprozesses haben sic -Halbleiter das Problem der geringeren Ausbeute als Silizium -Halbleiter.

Dieses Mal plant die Ionen -Technologie von Sumitomo Heavy Industries, die Ionenimplantationsmethode seiner eingeführten Produkte zu verbessern, gleichzeitig die SIC -Qualität und die Produktion zu erhöhen.

Aufgrund von Faktoren wie hoher technischer Schwierigkeit und schwieriger Prozessvalidierung gibt es hohe Wettbewerbsbarrieren und eine hohe Branchenkonzentration in der Ion -Implantationsmaschinenindustrie.Insgesamt wird der gesamte Markt hauptsächlich von American Applied Materials Company und American Axcelis Company monopolisiert, was mehr als 70% des globalen Marktes ausmacht.

Die neuesten Daten von Trendforce Consulting zeigen, dass SIC seine Durchdringung in Anwendungsmärkten wie Automobilen und erneuerbare Energien, bei denen die Stromdichte und Effizienz äußerst wichtig sind, weiter beschleunigt.Die allgemeine Marktnachfrage wird in den kommenden Jahren einen Wachstumstrend aufrechterhalten, und es wird geschätzt, dass die globale Marktgröße für SIC -Stromversorgungsgeräte im Jahr 2028 voraussichtlich 9,17 Milliarden US -Dollar erreichen wird.
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